真空機(jī)組應(yīng)安裝在平整堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)上，保證設(shè)備的務(wù)重強(qiáng)度。開機(jī)前水箱灌滿水，打開水泵進(jìn)水閥門。水泵嚴(yán)禁脫水空轉(zhuǎn)及反轉(zhuǎn)，以防損壞水源。真空機(jī)組應(yīng)先啟動(dòng)水源，水噴射真空開始工作，然后打開蒸汽開關(guān)，蒸汽泵開始工作。羅茨—水噴射機(jī)組應(yīng)先啟動(dòng)水源，水噴射真空開始工作，真空度到-0.092Mpa時(shí)，才能啟動(dòng)羅茨真空泵，低于真空-0.092Mpa，應(yīng)立即停止羅茨真空泵工作，建議安裝設(shè)備控制電器開關(guān)，便于操作。
使用時(shí)循環(huán)水箱應(yīng)經(jīng)常補(bǔ)充冷卻水更換循環(huán)水，降低工作水溫，嚴(yán)防循環(huán)水中有顆粒雜物。真空機(jī)組停機(jī)時(shí)應(yīng)先關(guān)閉蒸汽閥門，停止羅茨真空泵，打開真空罐上放空閥門，降低真空度。然后停止工作。否則產(chǎn)生倒吸及損壞設(shè)備。泵都有起始工作壓強(qiáng)，傳統(tǒng)的高真空泵都在幾Pa的范圍。
真空機(jī)組開關(guān)機(jī)需要注意哪些事項(xiàng)？因此前級泵必須預(yù)抽到這一壓力主泵才能開始工作。但直排大氣的前級泵抽至這一壓力往往需要較長的時(shí)間，因?yàn)殡S著壓力降低泵的抽速在減小，特別是對于周期性抽氣的真空機(jī)組，對達(dá)到工作真空度的時(shí)間是有要求的，預(yù)抽時(shí)間越長，進(jìn)入工作真空度的時(shí)間也越長，故增加一臺中真空泵與前級低真空泵配合，可在較短的時(shí)間達(dá)到主泵可以工作的壓力，這樣可以使系統(tǒng)盡快地進(jìn)入工作壓力，保證了設(shè)備的使用效率。
羅茨泵和油增壓泵都可以作為中真空泵，分子增壓泵有極高的壓縮比，這除了使它能獲得清潔真空外還具有優(yōu)異的高真空性能，同時(shí)在中真空范圍也有超強(qiáng)的抽氣能力。
這就使分子增壓泵成為目前兼有中高真空性能的真空泵，所以只需要與低真空泵配合便能組成性能堪比三級機(jī)組的高真空機(jī)組。具體地講由于分子增壓泵耐壓高，所以可使前級泵易于處于高流量狀態(tài)；而分子增壓泵吸入壓力高，減緩了前級泵的預(yù)抽負(fù)擔(dān)。分子增壓泵可以在100-50Pa工作，前級泵從大氣到這一壓力，基本遵從每經(jīng)過時(shí)間壓力降低一個(gè)數(shù)量級的規(guī)律，因此，機(jī)組可以具有很高的抽氣效率。簡化高真空機(jī)組，取消羅茨泵是分子增壓泵的又一個(gè)優(yōu)勢。