真空泵的工作原理，各類真空泵怎么工作的？真空泵廠家為你介紹各類型的真空泵的工作原理，真空泵要求從密封容器中高速高效地排除氣體，以達(dá)到產(chǎn)生,改善和維持真空的目的。真空泵工作原理可以分為機(jī)械、物理和化學(xué)方式，真空泵廠家根據(jù)要達(dá)到的真空度不同,常常需要2種以上的真空泵相組合。
1：旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵
2：分子泵(TMP)
3：離子泵
4：Ti升華泵
5：低溫泵
旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵
以油封式真空泵為例加以介紹。
構(gòu)造：偏心軸轉(zhuǎn)子,固定翼,油。旋轉(zhuǎn)動(dòng)力是電機(jī)。
工作原理：轉(zhuǎn)子緊貼泵壁內(nèi)側(cè)旋轉(zhuǎn)。固定翼隨之下移,轉(zhuǎn)子到達(dá)油面后,空氣被壓縮,壓縮后的空氣壓力高于外界大氣壓之后從排氣口排出。
特征：
排氣能力由壓縮比決定,可達(dá)0.1Pa程度。操作簡(jiǎn)單?？梢詮拇髿鈮籂顟B(tài)下啟動(dòng)。油要蒸發(fā)。
為了避免油或其它液體進(jìn)入真空腔內(nèi),不用油或其它液體的干式真空泵正在成為主要的旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵。
旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵
分子泵(TMP)
構(gòu)造：電機(jī)驅(qū)動(dòng)的高速旋轉(zhuǎn)葉片,泵壁上固定的固定葉片。
工作原理：每分鐘旋轉(zhuǎn)數(shù)萬次的高速旋轉(zhuǎn)葉片撞擊氣體分子,被撞擊的氣體分子碰撞到固定葉片后又被彈到下一個(gè)旋轉(zhuǎn)葉片上,最終被送到排氣口。旋轉(zhuǎn)葉片和固定葉片的方向相反,使分子難于逆行。這種排氣方式,排氣速度不因氣體種類而變。
特征：
不用油,工作環(huán)境清潔,可到達(dá)10-10Pa的真空度。排氣速度不受氣體種類影響。構(gòu)造復(fù)雜,價(jià)格昂貴,高速旋轉(zhuǎn),要注意安裝要求。有振動(dòng)。需要和其它初段排氣泵組合。
分子泵
離子泵
構(gòu)造：強(qiáng)磁鐵,蜂窩狀陽極,鈦(Ti)陰極。
工作原理：通過濺射現(xiàn)象,使Ti離子化,Ti離子化學(xué)反應(yīng)活性高。和氣體分子反應(yīng)之后生成化合物。
一部分氣體分子也離子化之后向陰極加速,使陰極的Ti被濺射后,一部分離子進(jìn)入陰極內(nèi)部。
特征：
能達(dá)到超高真空(10-10Pa)
需要和其它初段排氣泵組合。
有一定壽命。
離子泵
Ti升華泵
構(gòu)造：加熱電阻絲、Ti材料(線或球)。
工作原理：通過加熱電阻絲,使Ti升華。因?yàn)門i化學(xué)反應(yīng)活性高、立刻和周圍的氣體分子反應(yīng)而生成穩(wěn)定的化合物。反應(yīng)生成的化合物吸附在真空腔內(nèi)壁上、從而達(dá)到降低氣壓的效果。如果升華后的Ti吸附在較大面積的內(nèi)壁上、則產(chǎn)生巨大的排氣速度。比如1平方米的面積上吸附Ti原子的話、對(duì)氮?dú)舛浴⒖蛇_(dá)到24000升/s的排氣速度。 在壓力較高時(shí)(>10-3Pa)、排氣速度大大降低。因此需要和其他排氣泵組合使用。
特征：
排氣速度大。
沒有運(yùn)動(dòng)部分,沒有振動(dòng)。
需要和其它初段排氣泵組合。
有一定壽命。
低溫泵
構(gòu)造：冷凍機(jī)、液態(tài)He。
工作原理：利用氣體在超低溫表面凝結(jié)而達(dá)到排氣效果。
特征：
能達(dá)到超高真空(10-11Pa)
排氣速度快。
安裝方向不受限制。
選擇排氣泵的方法
1、需要到達(dá)的真空度
2、需要的排氣時(shí)間
3、是否需要導(dǎo)入氣體
4、排氣種類
5、配管長(zhǎng)度,氣體xxx的考慮
以上就是各類真空泵的工作原理，更多的真空泵產(chǎn)品盡在蘭佳機(jī)械，歡迎前來定制選購！
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